净化工程洁净室的温湿度主要是根据加工工艺要求来确定,在知足加工工艺的前提下,应该考虑人的恬静感。跟着空气洁净度要求的进步,工艺对温湿度的要求也越来越高,必需达到一定的温湿度等级。例如在大规模集成电路出产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必需有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,由于人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。
湿渡过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,假如发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。
然而对于大部门洁净空间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的维持一般应符合以下原则:
1.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。
2.相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。
3.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。
压力差的维持依赖新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透渗出)风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。
对于乱流洁净室因为主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度,所以主要用换气次数这一概念,而不直接用速度的概念,不外对室内气流速度也有如下要求:
1.送风口出口吻流速度不宜太大,和单纯空调房间比拟,要求速度衰减更快,扩散角度更大。
2.吹过水平面的气流速度(例如侧送时回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返气流,而造成再污染,这一速度一般不宜大0.2m/s。
文章源自 广东净化工程:http://www.jmyujie.com/
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01-15
湖南净化工程解说其在设计建造时根据哪些因素影响洁净车间等级的关系
挑选洁净车间等级涉及许多决定因素,每个职业都有一个默许标准。例如,在医疗设备包装中,默许等级是ISO 7(或10,000级)洁净车间。 要确认特定洁净车间应用所需的等级,有三个首要问题: 1、我的污染源是什么? 2、我需求过滤掉多大的颗粒? 3、我需求多少空气才干排出污染物? 一、污染与洁净车间等级的关系 典型的洁净车间旨在防止外部环境的污染物进入。一旦洁净车间建成,导致污染的两件
01-07
湖南净化工程解说其对空调系统的验收有哪些标准
关于一个新建好的洁净室净化工程在竣工之后要进行车间的全体查验作业,那么在查验之前我们要把整个车间的卫生进行一次全体的清洁,清洁卫生不高好对洁净度的查验有着直接的关系。 洁净室净化工程的空调系统的清洁查验应该怎么做呢? 1、调试之前对洁净室进行全面、彻底的清扫是十分必要的。对洁净室的地面、墙面、吊顶、门窗进行认真、全面、彻底的大扫除(最好请专业的清洁公司);对空调设备、空调管道(送风管、回风
12-19
湖南净化工程浅谈其发展有哪些因素变量
净化工程能够使用好以下说到的六个成本要素变量、供给可供挑选的规划计划、对根本的净化工程规划和规范进行改善、尽量满意工厂的需求,经过以上这些办法我们能够削减净化工程项目的成本费用。适用于生物制药、微电子和食物加工职业的净化工程规划建设。 1、换气次数 房间内污染物的比率和实践微粒发生情况,是影响工程空气换气次数的主要要素。在出产过程中,不对其他要素发生任何影响的情况下,清除微粒的速度是非常重