查看净化车间作业正常所进行的各项测验中，其中一项便是对室内气流的查看。这是整个测验程序的组成部分。为了稀释或消除室内的悬浮污染，然后防止污染在室内的积累，室内必需有充沛的气流活动。所以对气流必需进行检测。

　　在紊流洁净室中，风的运送和混合都是紊流方式进行的。为确保污染物被明晰，无尘车间的各个部分必需均实现杰出的空气混合。

　　在单向流净化车间中，为确保纽带区域达到最洁净的水平，其送风直接来自高效过滤器。

　　垂直层流式方向要保持均一气流：

　　(a)吹出面签字的风速不可有速度上的差异；

　　(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速渡过低或过高(0.2m/s，0.7m/s)均有涡流之现象发作，而0.5m/s之速度，气流则较均一，目前一般洁净室，其风速均取在0.25~0.5m/s之间。

　　影响洁净室的气流要素良多，如制程设备、职工、洁净室组装材、照明用具等，一起关于出产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑要素。

　　净化车间一般操纵台或出产设备等表面的气流分流点，应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处，如斯可使功课职作业业时，气流可从制程区内部流向功课区，而将微尘带走；若分流点装备在制程区前方，将成为不当的气流分流，此刻大部份的气流将流至制程区之后，功课员操纵所引起的尘埃将被带到设备后面，作业台因此将遭到污染，良率也势必降低。

　　净化车间内的作业桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发作，相对地在其四周之洁净度将会较差，在作业桌面钻上回风孔，将使涡流现象减少最低；组装材料之挑选是否恰当、设备怖局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之重要要素。

　　无尘车间气流的特色

　　对洁净空气流组织的一般要求如下：

　　1.送入的洁净气流能尽快均匀分布或扩散到整个洁净区，以减弱室内污染源披发的尘和菌对空气的污染，维持出产环境所要求的洁净度。

　　2.能快捷地把污染源披发到无尘车间的尘和菌从室内排走，避免或减少涡流和死角，缩短尘、菌在室内滞留时间，以减小与产品触摸的几率。

　　3.统筹室内温、湿度均匀性等空调送风的要求及作业职工的安静要求。因为与一般空调房间的主要任务不同，所以气流组织的计划也必定有所差异。

　　关于安静性空调房间和普通温、湿度精度的出产车间，考虑其空调气流组织计划的基点是选用尽可能大的送风温差，以便减小送风量，使体系设备、管道都更小，初投资和运转费用更低。所以通常夏季选用机器露点送风。

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